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超結MOS發(fā)明人-陳星弼:心有大我 至誠報國

陳星弼(1931—2019),中國科學(xué)院院士、教授、博導,1952年畢業(yè)于同濟大學(xué)電機系,畢業(yè)后在廈門(mén)大學(xué)電機系、南京工學(xué)院(現東南大學(xué))無(wú)線(xiàn)電系擔任助教。1956年到成都電訊工程學(xué)院(現電子科技大學(xué))任教。1983年任成都電訊工程學(xué)院微電子科學(xué)與工程系系主任、微電子研究所所長(cháng)。他是我國第一批學(xué)習及從事半導體研究的科技人員之一,電子工業(yè)部“半導體器件與微電子學(xué)”專(zhuān)業(yè)第一個(gè)博士生導師,國際著(zhù)名半導體器件物理學(xué)家、微電子學(xué)家,國際半導體界著(zhù)名的超結結構(Super Junction)的發(fā)明人,也是國際上功率器件的結終端理論的集大成者。他從1981年起開(kāi)始對功率半導體器件進(jìn)行研究,第一個(gè)提出了各種終端技術(shù)的物理解釋及解析理論。他提出了兩類(lèi)縱向導電的器件新耐壓結構,并作了唯一的三維電場(chǎng)分析結果,被國際學(xué)術(shù)界譽(yù)為功率器件的新里程碑。他發(fā)表200余篇學(xué)術(shù)論文,獲得授權中美等國發(fā)明專(zhuān)利40余項,其中著(zhù)名的超結發(fā)明專(zhuān)利US5216275被國際專(zhuān)利他引超過(guò)550次,并授權給國際主流半導體公司。因對高壓功率MOSFET理論與設計的卓越貢獻,他于2015年5月獲得IEEE ISPSD(國際功率半導體器件與集成電路年會(huì ))頒發(fā)的最高榮譽(yù)“國際功率半導體先驅獎”,成為亞太地區首位獲此殊榮的科學(xué)家。2018年5月,因發(fā)明超結器件成為國內首位入選IEEE ISPSD首屆全球32位名人堂的科學(xué)家。

半導體功率器件,是電能/功率處理的核心器件,更是弱電控制與強電運行之間的溝通橋梁,在“中國制造”向“中國智造”轉型過(guò)程中,在民族電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著(zhù)重要作用。陳星弼院士為此付出了數十年的心血與智慧,直到生命最后一刻,仍念茲在茲。

2019年12月4日,這位被稱(chēng)作中國半導體功率器件領(lǐng)路人的科學(xué)家在成都去世,享年89歲。那條他常去實(shí)驗室的路上,鋪滿(mǎn)了金黃的銀杏葉,仿佛在懷念這位中國學(xué)人輝煌的科研人生,也似乎還在傾聽(tīng)他對我國功率器件取得進(jìn)一步突破的夢(mèng)想。

“我想陳先生心里想的是,還要再活十年、二十年,還要再為國家和社會(huì )作出新的貢獻。所以陳先生是有言而未語(yǔ),自己在堅持,希望能夠對抗病魔?!标愋清龅膶W(xué)生、原四川省電子廳廳長(cháng)蔣臣琦在看望病中的恩師時(shí)這樣說(shuō)。

陳星弼:心有大我 至誠報國

美國3D公司授予陳星弼的獎牌。

是??!陳星弼那樣熱愛(ài)生命,熱愛(ài)科學(xué)。2019年10月,他還和學(xué)院的年輕人一起秋游都江堰;生病的前一天依然在實(shí)驗室里工作;即使在病床上,他也不閑著(zhù),琢磨如何改進(jìn)輸液即將完畢時(shí)通知護士的方式。陳星弼的兒子感慨:“真的沒(méi)有想到啊……他還有好多事情想做,好多研究可以做,有很多新的idea(想法),這是他最大的遺憾?!?/p>

可是,這位老者沒(méi)有更多的時(shí)光了。2019年11月20日,陳星弼戴著(zhù)無(wú)創(chuàng )呼吸機,在白細胞22000的情況下寫(xiě)下了這樣一段話(huà):“一生輾轉千萬(wàn)里,莫問(wèn)成敗重幾許,得之坦然,失之淡然。與其在別人的輝煌里仰望,不如親手點(diǎn)亮自己的心燈,揚帆遠航……”這是他最后的心語(yǔ)。

十幾天后,陳星弼在他最?lèi)?ài)的《命運》交響曲中離開(kāi)了這個(gè)世界,帶著(zhù)未酬的凌云壯志,帶著(zhù)對祖國的無(wú)限熱愛(ài)。

陳星弼:心有大我 至誠報國

陳星弼(右)和胡思福在進(jìn)行光刻分析。

闖出新路

陳星弼與功率器件的緣分要追溯到20世紀80年代。那時(shí),他作為“文革”后第一批出國留學(xué)人員赴美國俄亥俄大學(xué)、加州大學(xué)伯克利分校做訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者。

一個(gè)極具科研價(jià)值的問(wèn)題吸引了陳星弼:以毫米為單位的小小芯片從晶圓片上劃分而來(lái),制作成各種產(chǎn)品,但是每個(gè)芯片都有邊界,它對功率器件的性能影響如何解決呢?

憑借扎實(shí)功底和勤奮學(xué)習,陳星弼提出了一個(gè)獨特的思路:應該有一個(gè)最佳的電荷分布,能在表面以最短的距離使擊穿電壓達到盡可能高的值,即最佳表面變摻雜。

“邂逅”功率器件,擦出火花后,陳星弼并沒(méi)有順這條新路走下去。他猶豫著(zhù),要不要回到自己最喜愛(ài)的物理學(xué)研究領(lǐng)域?但歸國后,陳星弼強烈感受到,半導體功率器件對國家電子信息領(lǐng)域發(fā)展的重要,于是,他放棄原來(lái)的理想,全力投入這一領(lǐng)域的研究之中。

萬(wàn)丈高樓平地起,面向全新領(lǐng)域,陳星弼開(kāi)始一磚一瓦搭建基礎平臺。1983年,他推動(dòng)建立微電子研究所,帶領(lǐng)大家忘我地投入科研工作。每天晚上鐘聲敲過(guò)十二下,學(xué)校要關(guān)門(mén)了,陳星弼才肯離開(kāi)實(shí)驗室,一路疾走,回到家中繼續干。有時(shí)工作到凌晨?jì)扇c(diǎn),有時(shí)通宵達旦,直到東方發(fā)白,才短暫休息幾個(gè)小時(shí)。

此時(shí)的陳星弼已年過(guò)五旬,卻以比年輕人更勤勉的態(tài)度、更旺盛的精力投入這一全新的事業(yè)里。于是,一條新路,在陳星弼堅實(shí)的步伐中,延伸向希望的遠方。

陳星弼的幾篇論文《P-N結有場(chǎng)板時(shí)表面電場(chǎng)分布的簡(jiǎn)單公式》《突變平面結表面電場(chǎng)的近似公式》等相繼發(fā)表,“功率半導體器件及高壓集成電路”這個(gè)嶄新而陌生的詞組從此與他緊緊聯(lián)系在一起。1987年,微電子研究所課題達到10個(gè),經(jīng)費將近30萬(wàn)元。這在當時(shí)是一筆不小的數目。

“尤其值得高興的是,‘半導體器件與微電子學(xué)’高分通過(guò)了博士點(diǎn)申請?!?989年11月,時(shí)任電子科技大學(xué)校長(cháng)的劉盛綱院士,在一次校內會(huì )議上通報了學(xué)校參加全國第四批學(xué)科點(diǎn)評審的情況。陳星弼舒心地笑了,在同事熱情的掌聲中,他激動(dòng)地用力皺緊眉頭,瞇起眼睛,不讓淚水流出。

勇攀高峰

“集成電路為電子信息時(shí)代奠定了基礎,就像造房子一樣。網(wǎng)絡(luò )、云等都是重要的,但基石是微電子?!标愋清鲈诮邮苡浾卟稍L(fǎng)時(shí)這樣介紹自己的研究,“關(guān)于電子信息的發(fā)展,有兩個(gè)重要的問(wèn)題:一個(gè)是如何發(fā)現新的發(fā)電方法,比如太陽(yáng)能電池;另一個(gè)是如何節省電能,我們所做的工作就是節省電能?!?/p>

陳星弼以微電子研究所為“根據地”,帶領(lǐng)一批優(yōu)秀的科研工作者在半導體功率器件領(lǐng)域不斷奮斗,在中國首次研制了VDMOST、IGBT、LDMOST、MCT、EST等器件,并首次提出了各種終端技術(shù)的物理解釋及解析理論。他想,人們希望功率器件耐壓很高,接通時(shí)電阻很小,但它卻有硅極限。如何實(shí)現突破呢?

陳星弼研究了很多終端技術(shù)理論,逐漸形成了表面耐壓層結構的想法。他不分白天黑夜,泡在實(shí)驗室里,甚至自己出錢(qián)租設備,助手唐茂成和葉星寧協(xié)助他到沈陽(yáng)電子部47所投片。經(jīng)過(guò)多次試驗,陳星弼和他的研究小組終于通過(guò)改變功率管的結構,實(shí)現了復合緩沖耐壓結構(現稱(chēng)為超結器件)。

超結器件導通電阻低,易驅動(dòng),速度快,引起學(xué)術(shù)界和企業(yè)界很大反響,被稱(chēng)作“功率器件的新里程碑”。

這一發(fā)明的相關(guān)專(zhuān)利在全世界范圍內已被引用超過(guò)550次,所產(chǎn)生的經(jīng)濟效益非常明顯,英飛凌、意法半導體、仙童、東芝等公司都投入生產(chǎn)。根據法國半導體領(lǐng)域的一家市場(chǎng)調查公司的調查結果顯示,超結功率器件將以10.3%的年復合增長(cháng)率迅速增長(cháng)。而超結MOS器件的應用也非常廣泛,包括電腦電源、照明電源、液晶電視、光伏逆變器,以及醫療、電信、工業(yè)等多類(lèi)電源都有它的“身影”。

為此,國內外專(zhuān)家對陳星弼及其發(fā)明都給予了高度評價(jià)——

美國德克薩斯大學(xué)電子工程系終身正教授周電說(shuō):“陳院士的發(fā)明是中國人民的智慧瑰寶,也是全世界人民的共同智慧財產(chǎn)?!薄霸搶?zhuān)利發(fā)明標志著(zhù)半導體功率器件發(fā)展進(jìn)入了一個(gè)叫作‘超級結’功率器件的新時(shí)代?!?/p>

加拿大科學(xué)院院士、前院長(cháng)、中國科學(xué)院外籍院士Jamal教授說(shuō):“事實(shí)上,在功率器件領(lǐng)域,他(陳星弼)曾通過(guò)出色的研究工作單槍匹馬讓中國的研究進(jìn)入國際學(xué)術(shù)舞臺。與我們現在的科研條件相比,他是在資源極其有限的情況下實(shí)現這一巨大成就的?!?/p>

然而,陳星弼對超結器件仍不滿(mǎn)意,耿耿于懷的是它的缺陷。2000年后,他又發(fā)明了高K電介質(zhì)耐壓結構、高速I(mǎi)GBT、兩種多數載流子導電的器件等,這使我國高壓(功率)集成電路在一個(gè)新的、更先進(jìn)的起點(diǎn)上起飛。

科研人生

2015年,陳星弼榮獲國際功率半導體先驅獎,他談到了自己對科研的熱愛(ài):“和我同齡的很多人都已經(jīng)過(guò)上了清閑的退休生活,但我卻很享受奮戰在第一線(xiàn)的狀態(tài)。我覺(jué)得吃喝玩樂(lè )才沒(méi)意思呢,在科學(xué)的路上,遇到困難、解決困難就是一種幸福?!?/p>

陳星弼是從20世紀50年代開(kāi)始走上了這條“幸?!敝返?。那時(shí),他剛從同濟大學(xué)畢業(yè),在南京工學(xué)院電機系任助教,又北上中科院進(jìn)修。他被漂移晶體管吸引住了。這在當時(shí)是新興事物,正逐漸替代飽和晶體管。

陳星弼利用假期進(jìn)行推導,不久,他的第一篇論文《關(guān)于半導體漂移三極管在飽和區工作時(shí)的儲存時(shí)間問(wèn)題》發(fā)表于1959年的《物理學(xué)報》之上,這是國際上首次指出集電區中少數載流子存儲效應對開(kāi)關(guān)性能影響的重要文章。

結束在中科院的進(jìn)修后,陳星弼來(lái)到巴蜀大地。此時(shí),按照周恩來(lái)總理的親自部署,交通大學(xué)(現上海交通大學(xué)、西安交通大學(xué))、南京工學(xué)院(現東南大學(xué))、華南工學(xué)院(現華南理工大學(xué))的電訊工程有關(guān)專(zhuān)業(yè)西遷成都,合并創(chuàng )建成都電訊工程學(xué)院(現電子科技大學(xué),簡(jiǎn)稱(chēng)成電)。陳星弼把對祖國的深情和對科研的熱愛(ài)都融入這所新學(xué)校的建設之中,開(kāi)始了自己六十余年的成電生涯。

在陳星弼的建議和努力下,成電于20世紀70年代接到了研制硅靶攝像管的科研任務(wù)。硅靶靶面研制小組成立后,陳星弼做了理論論證,提出工藝和測量方面進(jìn)行攻關(guān)的三大難題。全組人員經(jīng)過(guò)四個(gè)月的艱苦奮戰,在733廠(chǎng)和970廠(chǎng)的配合下,終于研制出我國第一支硅靶攝像管。

即使在那樣的特殊年代,陳星弼也克服一切困難,醉心科研。在測量半導體的電阻率時(shí),他發(fā)現了一個(gè)問(wèn)題。平時(shí),最常用的方法是“四探針?lè )ā?,通常所用的理論計算方式必須假設均勻材料。陳星弼卻發(fā)現實(shí)際情況和假設有差別。這一問(wèn)題激發(fā)了他強烈的研究欲望。他利用業(yè)余時(shí)間研究電阻率,最后利用傳統的電荷鏡像法,頗具匠心地創(chuàng )造了一種在一維方向介質(zhì)是不均勻的鏡像電荷的方程。

從漂移晶體管到硅靶攝像管,再到后來(lái)創(chuàng )造輝煌的半導體功率器件,陳星弼一直葆有對科研的無(wú)限熱愛(ài)和克服科學(xué)困難的壯志雄心。他說(shuō):“科研之初,就像貝多芬《命運》交響曲的第一樂(lè )章,我們掙扎、追尋、研究和爭辯,內心有苦也有樂(lè )。然而通過(guò)不懈的努力,終于征服了種種障礙,并且在某項研究中取得了成功,這又像《命運》交響曲的第四樂(lè )章?!?/p>

立德樹(shù)人

“嚴字當頭,把學(xué)生當‘敵人’?!边@是陳星弼數十載的教學(xué)感悟。他認為,講授真學(xué)問(wèn)的關(guān)鍵在“嚴”,把學(xué)生當作“敵人”,以難題驅動(dòng),進(jìn)而提升他們思考解決問(wèn)題的能力。

陳星弼經(jīng)常舉一個(gè)例子,前中國女子曲棍球教練金昶伯,對待自己的隊員就像“敵人”一樣,通過(guò)魔鬼訓練讓她們磨礪進(jìn)步?!皣缼煶龈咄健?,正是在其率領(lǐng)下,中國女子曲棍球隊在不到3年時(shí)間里,一躍成為一支世界強隊。

如何做到嚴格要求呢?陳星弼的方法是自主設計難題,讓學(xué)生在攻克難題中鍛煉能力,并能不斷創(chuàng )新。他還通過(guò)在考試題目中設置難題,辨識學(xué)生學(xué)習成果差異,讓分數“高斯”分布。

同時(shí),陳星弼也非常重視“寬嚴相濟”。而他認為的“寬”,則是指老師要引導學(xué)生加強基礎課和通識教育的學(xué)習,打下寬厚基礎,奠定未來(lái)研究工作的基石?!艾F今科技日新月異,專(zhuān)業(yè)知識也會(huì )隨之更新。我們學(xué)雙極型晶體管時(shí),未承想過(guò)幾年便出現MOS晶體管。當我們學(xué)習MOS晶體管時(shí),很快又有了集成電路。那我們要靠什么快速跟進(jìn)學(xué)習與認知?靠的就是我們曾經(jīng)不惜時(shí)間和精力打下的數理基礎?!?/p>

著(zhù)眼于中國高等教育發(fā)展,陳星弼常常呼吁,大學(xué)教育培養的不只是高級技師,而應以輸出對科技發(fā)展有貢獻的科學(xué)家為主,因此要站在對學(xué)生及中國高等教育高度負責的立場(chǎng),加強基礎課的投入,提升基礎課的教學(xué)水平?!安灰聦W(xué)生缺少某些知識,不要妄想知識都要從學(xué)校得來(lái),要讓學(xué)生意識到,可持續學(xué)習能力的自我培養是珍貴品質(zhì)?!?/p>

雖已過(guò)去數十年,原成都電訊工程學(xué)院三系系主任謝孟賢回憶陳星弼上課的情景,仍歷歷在目:“陳老師自己在上講臺前總是將教案熟悉到極致,所有理論體系、知識案例都在他的腦海里形成一個(gè)嚴密的體系。走上講臺,不用背,不用記,要講的內容像水流一樣涓涓不息地淌出來(lái)。從1959年開(kāi)始上課,他就不帶講稿,只有一張香煙盒大小的紙片寫(xiě)好備忘摘錄。他的課有趣生動(dòng),難點(diǎn)重點(diǎn)突出,分析透徹?!?/p>

不管工作多么繁忙,陳星弼都把教學(xué)工作放在非常重要的位置。他曾主動(dòng)請纓,接手“人人討厭上”的量子力學(xué),還為研究生開(kāi)設了《半導體器件物理》《半導體器件的數值計算方法》《功率MOS》等新課。

課程很難,陳星弼卻很興奮。他一向認為,“越偉大越深奧的東西我越喜歡攻克”。陳星弼的課保持著(zhù)一貫風(fēng)格:突出物理概念,啟發(fā)式教育。他將豐富的科研體驗融匯在課堂內容中,學(xué)生感覺(jué)實(shí)用性更強。

為了鍛煉學(xué)生的英語(yǔ)能力,陳星弼在研究生課堂上采用全英文教學(xué)。他崇尚自由包容的課堂氛圍,允許學(xué)生隨意提問(wèn)。討論時(shí),沒(méi)有權威,沒(méi)有師生關(guān)系,只有平等交流。同學(xué)們踴躍發(fā)言,甚至為某一個(gè)問(wèn)題爭得面紅耳赤。

陳星弼還經(jīng)常給學(xué)生們開(kāi)人文講座,建議他們讀世界名著(zhù)、聽(tīng)古典音樂(lè ),鍛煉他們的語(yǔ)言表達能力。他認為,通識教育雖不能讓人才速成,但從長(cháng)遠計,接受通識教育的學(xué)生的創(chuàng )新性和貢獻更為突出。

即使已入耄耋之年,身患各種疾病,陳星弼還是親自帶碩士生、博士生,關(guān)心每一位學(xué)生的成長(cháng)和發(fā)展。

陳星弼是嚴師,更是慈父。他掏錢(qián)請學(xué)生看電影、吃飯,在甲型流感暴發(fā)期間自費購買(mǎi)中藥熬給同學(xué)們喝。

更有意思的是,“讓我付錢(qián)我才去”成為陳星弼和畢業(yè)學(xué)生聚會(huì )的“標準”。學(xué)生們都記得,有一次聚會(huì )大家偷偷付了錢(qián),陳先生很不開(kāi)心,批評“說(shuō)話(huà)不算數”。下次再約時(shí),陳星弼說(shuō)“除非我把上次聚會(huì )時(shí)的錢(qián)出了,否則我不去?!薄霸谒睦?,我們就是他的孩子啊?!?/p>

2018年教師節前夕,陳星弼與劉盛綱、李樂(lè )民三位院士共同獲得“成電立德樹(shù)人成就獎”,這是屬于電子科技大學(xué)教師的最高榮譽(yù)。

家國情懷

“只有科學(xué)和教育發(fā)展了,國家才能振興。沒(méi)有科學(xué)教育,國家就會(huì )落后,落后就要挨打?!痹诩o念二戰勝利70周年時(shí),陳星弼曾談到科教興國的意義,“科學(xué)技術(shù)是第一生產(chǎn)力,科學(xué)技術(shù)無(wú)形中推動(dòng)生產(chǎn)力的發(fā)展,任何人不能阻止歷史的車(chē)輪?!?/p>

這樣的感悟與陳星弼刻骨銘心的少年經(jīng)歷密切相關(guān)。國破山河在,城春草木深。1937年,戰爭陰云密布,不到7歲的陳星弼跟隨父母離開(kāi)上海,在連天的炮火中,踏上向西的逃難之路。

他們逃到了余姚、浦江,又輾轉至蕭山、金華、南昌、長(cháng)沙、九江……歷經(jīng)艱險到達重慶,一家人才稍作安頓。陳星弼轉學(xué)四次后結束了小學(xué)生活。

陳星弼的少年時(shí)代拮據清貧,中學(xué)每月只發(fā)給他們二斗三升米,大部分都是霉爛的紅米。而每次回家,他都要為船費發(fā)愁。

1943年,陳星弼轉學(xué)到江津縣國立九中,“十萬(wàn)青年十萬(wàn)軍”的大規模征兵運動(dòng)正在全國開(kāi)展。他唱著(zhù)《棠棣之花》送別披上戎裝的同學(xué),只恨自己年齡小不能參軍,要么真想爬上卡車(chē),到印度,到緬甸,到抗日前線(xiàn)。

年少的陳星弼在緊張的課余認真軍訓,操練,打靶,一絲不茍。語(yǔ)文老師教大家毛澤東的詞《沁園春·雪》,他非常喜愛(ài)。陳星弼和同學(xué)還排演曹禺、田漢、夏衍、郭沫若的愛(ài)國話(huà)劇。

年歲漸增,陳星弼對祖國的愛(ài)更深,為祖國奉獻一生的意愿更加強烈。大二時(shí),陳星弼放棄了獎學(xué)金。他想,國家還有許多急需用錢(qián)的地方,“我也要為祖國盡微薄之力?!碑厴I(yè)分配填寫(xiě)志愿表時(shí),他鄭重地在每一個(gè)志愿欄里都填上“服從組織分配”,并真誠地表示要“到東北去、到西北去、到最艱苦的地方去”,建功立業(yè)。

五十歲時(shí),陳星弼走出國門(mén),以真才實(shí)學(xué)贏(yíng)得了國際友人的尊重。他主動(dòng)上交外匯,卻把收據滿(mǎn)不在乎地丟棄。為了給工業(yè)發(fā)展作出切切實(shí)實(shí)的貢獻,他痛苦地放棄了關(guān)于理論物理的夢(mèng)想。在功率器件領(lǐng)域艱苦工作,常常通宵達旦。

陳星弼視名利如浮云,他衣著(zhù)樸素,家里甚至還用著(zhù)20多年前的暖水瓶。不了解的人很難想象,這位看似普通的老人,專(zhuān)利成果帶來(lái)的經(jīng)濟效益約20億美元?!叭绻皇菫榱嗣?,我不可能在科研上耗費一輩子的精力?!标愋清稣f(shuō)。

從大學(xué)時(shí)代開(kāi)始,陳星弼就閱讀馬克思歷史唯物主義著(zhù)作,而且順著(zhù)哲學(xué)學(xué)術(shù)河流上溯,閱讀了德國古典哲學(xué)著(zhù)作?!拔沂墙?jīng)過(guò)了艱苦的閱讀、認真的思索,才開(kāi)始接受馬克思主義?!?/p>

終其一生,馬克思主義給予陳星弼源源不斷的精神力量。他引用馬克思的名言——“科學(xué)絕不是一種自私自利的享樂(lè )。有幸能夠致力于科學(xué)的人,首先應該拿自己的學(xué)識為人類(lèi)服務(wù)”,認為“能夠在短促的人生中,以科學(xué)服務(wù)人類(lèi),這就是我追求的價(jià)值”。他也希望有更多的青年獻身科研,成為科研發(fā)展的脊梁。

“長(cháng)壽,是讓我有充足的時(shí)間為祖國做更多的事情?!标愋清霾⒉辉诤跎L(cháng)短與否,但耄耋之年仍緊張工作在科研戰線(xiàn)最前沿,他深感幸運。經(jīng)歷過(guò)山河破碎,對國弱民賤、生靈涂炭的印象錐心刺骨,陳星弼始終葆有這樣的“初心”:要把自身的前途命運同國家和民族的前途命運緊緊聯(lián)系在一起,在祖國需要的科研戰線(xiàn)上建功立業(yè)。他“心有大我、至誠報國”,也激勵著(zhù)廣大科研工作者開(kāi)拓創(chuàng )新,解決關(guān)鍵技術(shù)“卡脖子”問(wèn)題,將科研人生融入實(shí)現中華民族偉大復興中國夢(mèng)的歷史洪流中。

(本版圖片均為資料圖片)

《光明日報》( 2020年03月02日 11版)

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